半导体电子行业气体解决方案
半导体制造是工业气体纯度要求最高的领域之一，通常需要5N（99.999%）至6N（99.9999%）级别的超高纯气体。气体中微量杂质的含量直接影响芯片的良率和性能。
应用工序
- 晶体生长：硅单晶拉制过程中使用高纯氩气作为保护气体
- 氧化扩散：高纯氧气用于硅片氧化层生成，高纯氮气用于保护
- 刻蚀清洗：特种混合气体用于微细加工中的等离子刻蚀
- 化学气相沉积：高纯载气和反应气体
- 封装测试：惰性气体保护，防止器件氧化
品质保障
我司建立了一套完善的高纯气体质量控制体系，从原料空气净化到最终产品出厂，每个环节均有严格的检测和控制。配备先进的在线分析仪器，实时监测产品纯度和杂质含量。